| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Werkstoffkunde I (IWK I) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000000901 |
| Erschienen in | HARMST. The 5th International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology, Monterey, CA 2003 |
| Verlag | Springer-Verlag |
| Seiten | 137-138 |
| Serie | Microsystem technologies ; 10.2004,6-7 |