Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Werkstoffkunde I (IWK I) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000000901 |
Erschienen in | HARMST. The 5th International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology, Monterey, CA 2003 |
Verlag | Springer-Verlag |
Seiten | 137-138 |
Serie | Microsystem technologies ; 10.2004,6-7 |