Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Hochleistungsimpuls- und Mikrowellentechnik (IHM) Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Höchstfrequenztechnik und Elektronik (IHE) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0029-554x, 0167-5087, 1872-9606 KITopen-ID: 1000001343 |
HGF-Programm | 42.02.02 (POF I, LK 01) Nanoskalige Schichtsysteme u.Oberflächen |
Erschienen in | Nuclear instruments & methods in physics research |
Verlag | Elsevier |
Band | 528 |
Heft | 1-2 |
Seiten | 101-105 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |