Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Hochleistungsimpuls- und Mikrowellentechnik (IHM) Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Höchstfrequenztechnik und Elektronik (IHE) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0093-3813, 1939-9375 KITopen-ID: 1000001352 |
HGF-Programm | 42.02.02 (POF I, LK 01) Nanoskalige Schichtsysteme u.Oberflächen |
Erschienen in | IEEE transactions on plasma science |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Band | 32 |
Seiten | 884-889 |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |