Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Hochleistungsimpuls- und Mikrowellentechnik (IHM) Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Höchstfrequenztechnik und Elektronik (IHE) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 0-08-044504-7 KITopen-ID: 1000001469 |
HGF-Programm | 42.02.02 (POF I, LK 01) Nanoskalige Schichtsysteme u.Oberflächen |
Erschienen in | MAPEES'04. International Symposium on Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources, Osaka, Japan 2004. Ed.: S. Miyake |
Verlag | Elsevier |
Seiten | 93-98 |