Neue Schichtkonzepte zur Abscheidung von kubischem Bornitrid
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 0947-8620 urn:nbn:de:0005-071078 KITopen-ID: 1000003290 Reportnummer: FZKA-7107 |
| HGF-Programm | 42.02.02 (POF I, LK 01) Nanoskalige Schichtsysteme u.Oberflächen |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 7107 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Prüfungsdaten | 20.12.2004 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |
| Referent/Betreuer | Holleck, H. |