Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Hochleistungsimpuls- und Mikrowellentechnik (IHM) Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Höchstfrequenztechnik und Elektronik (IHE) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000003832 |
HGF-Programm | 42.02.02 (POF I, LK 01) Nanoskalige Schichtsysteme u.Oberflächen |
Erschienen in | Proceedings. IVEC 2005. 6th IEEE International Vacuum Electronics Conference, Noordwijk, The Netherlands 2005 |
Verlag | IEEE Operations Center |
Seiten | 291-292 |