Micro-specific design for tool-based microtechnologies
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktentwicklung (IPEK) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000004099 |
| Erschienen in | Proceedings. HARMST 2005 High Aspect Ratio Micro Structure Technology Workshop, Gyeongju, Korea 2005 |
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