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Micro-specific design for tool-based microtechnologies

Albers, A.; Burkardt, N.; Deigendesch, T.; Marz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Produktentwicklung (IPEK)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 1000004099
Erschienen in Proceedings. HARMST 2005 High Aspect Ratio Micro Structure Technology Workshop, Gyeongju, Korea 2005
Seiten -
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