Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktentwicklung (IPEK) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000004273 |
Erschienen in | Microengineering of metals and ceramics.Hrsg.:D. Löhe |
Verlag | Wiley-VCH Verlag |
Seiten | - |
Serie | Advanced micro and nanosystems |