| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktentwicklung (IPEK) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000004273 |
| Erschienen in | Microengineering of metals and ceramics.Hrsg.:D. Löhe |
| Verlag | Wiley-VCH Verlag |
| Seiten | - |
| Serie | Advanced micro and nanosystems |