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URN: urn:nbn:de:0005-072343

Mikrooptische Sensoren nach dem chromatisch konfokalen Messprinzip

Lücke, Peter; Last, Arndt; Mohr, Jürgen



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator ISSN: 0947-8620

KITopen-ID: 1000004651

Reportnummer: FZKA-7234
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01)
Verlag FZK, Karlsruhe
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 7234
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten 03.05.2006
Referent/Betreuer Prof. V. Saile
Bemerkung zur Veröffentlichung Dissertation von Peter Lücke
Externe Relationen Abstract/Volltext
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