Zugehörige Institution(en) am KIT | Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM) Universität Karlsruhe (TH) – Zentrale Einrichtungen (Zentrale Einrichtungen) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1369-8001 KITopen-ID: 1000005090 |
Erschienen in | Materials science in semiconductor processing |
Verlag | Elsevier |
Band | 9 |
Seiten | 127 |