| Zugehörige Institution(en) am KIT | Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM) Universität Karlsruhe (TH) – Zentrale Einrichtungen (Zentrale Einrichtungen) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1369-8001 KITopen-ID: 1000005090 |
| Erschienen in | Materials science in semiconductor processing |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 9 |
| Seiten | 127 |