| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mechanische Verfahrenstechnik und Mechanik (MVM) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000005190 |
| Erschienen in | Proceedings EuroCVD 15 (2005), Bochum. Chemical vapor deposition. Vol. 2005-9. Ed.: A. Devi |
| Verlag | Electrochem. Soc. |
| Seiten | 481-490 |