Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mechanische Verfahrenstechnik und Mechanik (MVM) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000005190 |
Erschienen in | Proceedings EuroCVD 15 (2005), Bochum. Chemical vapor deposition. Vol. 2005-9. Ed.: A. Devi |
Verlag | Electrochem. Soc. |
Seiten | 481-490 |