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Entwicklung einer Plasmaquelle zur Hochratenabscheidung modifizierter Kohlenstoffschichten in einem Hybridverfahren

Niederberger, Lorenz



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 1000006922
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten 01.08.2006
Referent/Betreuer Prof. H. Holleck
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