Entwicklung einer Plasmaquelle zur Hochratenabscheidung modifizierter Kohlenstoffschichten in einem Hybridverfahren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000006922 |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Prüfungsdaten | 01.08.2006 |
| Referent/Betreuer | Holleck, H. |