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Entwicklung einer Plasmaquelle zur Hochratenabscheidung modifizierter Kohlenstoffschichten in einem Hybridverfahren

Niederberger, Lorenz


Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 1000006922
Verlag Universität Karlsruhe (TH)
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten 01.08.2006
Referent/Betreuer Holleck, H.
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