| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktentwicklung (IPEK) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000006934 |
| Erschienen in | HARMST 2007 - 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology, 7. - 9. Juni 2007, Besancon, Frankreich |
| Verlag | Besancon |