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Micro-specific design flow for tool-based microtechnologies

Albers, A.; Deigendesch, T.; Marz, J.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000006952
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Produktentwicklung (IPEK)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076
urn:nbn:de:swb:90-69526
KITopen-ID: 1000006952
Erschienen in Microsystem Technologies
Verlag Springer
Band 13
Heft 3
Seiten 305 - 310
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