Micro-specific design flow for tool-based microtechnologies
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktentwicklung (IPEK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076 urn:nbn:de:swb:90-69526 KITopen-ID: 1000006952 |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 13 |
| Heft | 3 |
| Seiten | 305 - 310 |