| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktentwicklung (IPEK) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 3-18-091950-7 ISSN: 0083-5560 KITopen-ID: 1000007032 |
| Erschienen in | Messtechnik für Mikro- und Nanoengineering : Tagung Erlangen, 29. und 30. November 2006 |
| Verlag | VDI Verlag |
| Seiten | - |
| Serie | VDI-Berichte ; 1950 |