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Herstellung von Dünnschichten und Dünnschichtsensoren

Albers, A.; Bsul, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Produktentwicklung (IPEK)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 1000007048
Erschienen in ICMT 2006 - International Conference on Mechanical Transmissons, 26-30 September 2006, Chongqing, China
Verlag Chongqing
Seiten -
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