Herstellung von Dünnschichten und Dünnschichtsensoren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktentwicklung (IPEK) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000007048 |
| Erschienen in | ICMT 2006 - International Conference on Mechanical Transmissons, 26-30 September 2006, Chongqing, China |
| Verlag | Chongqing |
| Seiten | - |