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Dichtheit und Lebensdauer Glas-Frit gebondeter mikromechanischer Inertialsensoren

Glien, Karsten


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000007107
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau – Institut für Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IZBS)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 2007
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-71072
KITopen-ID: 1000007107
Verlag Universität Karlsruhe (TH)
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau – Institut für Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IZBS)
Prüfungsdaten 16.01.2007
Referent/Betreuer Gumbsch, P.
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