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UV-induzierte Brechzahländerung zur Herstellung von Wellenleitern und Integration von Siliziumphotodioden

Ichihashi, Yassuhisa; Mappes, T.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2007
Sprache Deutsch
Identifikator ISSN: 0947-8620
URN: urn:nbn:de:0005-073557
KITopen ID: 1000007535
Reportnummer: FZKA-7355
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Verlag Karlsruhe
Umfang VI, 92 S.
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 7355
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten 26.10.2007
Referent/Betreuer Prof. V. Saile
URLs Abstract (HTML)
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