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UV-induzierte Brechzahländerung zur Herstellung von Wellenleitern und Integration von Siliziumphotodioden

Ichihashi, Yassuhisa; Mappes, T.; Mohr, J.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000007535
Coverbild
Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2007
Sprache Deutsch
Identifikator ISSN: 0947-8620
urn:nbn:de:0005-073557
KITopen-ID: 1000007535
Reportnummer: FZKA-7355
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01)
Verlag Universität Karlsruhe, Karlsruhe
Umfang VI, 92 S.
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 7355
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten 26.10.2007
Referent/Betreuer Prof. V. Saile
Externe Relationen Abstract/Volltext
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