Herstellung photonischer Komponenten durch Heißprägen und UV-induzierte Brechzahlmodifikation von PMMA
Abstract:
Im Polymer PMMA wurden durch Heißprägen sowohl stark führende, passive optische Wellenleiter wie auch organische DFB-Laser hergestellt und charakterisiert. Die Replikation der Strukturen erfolgte dabei durch auf Basis von mit UV- und Röntgenlithografie strukturierten Nickel-Shim-Formeinsätzen im LIGA-Verfahren.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-86644-221-4 urn:nbn:de:0072-77194 KITopen-ID: 1000007719 |
| Verlag | Universitätsverlag Karlsruhe |
| Umfang | XV, 87 S. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten | 24.01.2008 |
| Schlagwörter | Heißprägen, Wellenleiter, PMMA |
| Referent/Betreuer | Saile, V. |