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Herstellung photonischer Komponenten durch Heißprägen und UV-induzierte Brechzahlmodifikation von PMMA

Bründel, Mathias

Abstract:
Im Polymer PMMA wurden durch Heißprägen sowohl stark führende, passive optische Wellenleiter wie auch organische DFB-Laser hergestellt und charakterisiert. Die Replikation der Strukturen erfolgte dabei durch auf Basis von mit UV- und Röntgenlithografie strukturierten Nickel-Shim-Formeinsätzen im LIGA-Verfahren.

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DOI: 10.5445/KSP/1000007719
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Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2008
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-86644-221-4
urn:nbn:de:0072-77194
KITopen-ID: 1000007719
Verlag Universitätsverlag Karlsruhe, Karlsruhe
Umfang XV, 87 S.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten 24.01.2008
Referent/Betreuer Prof. V. Saile
Schlagworte Heißprägen, Wellenleiter, PMMA
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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