Epitaxial Deposition of Silicon-Nitride during Postsintering Heat-Treatment
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Keramik im Maschinenbau (IKM) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0261-8028 KITopen-ID: 1000007800 |
| Erschienen in | Journal of materials science / Letters |
| Verlag | Springer-Verlag |
| Band | 11 |
| Heft | 18 |
| Seiten | 1249-1252 |