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Epitaxial Deposition of Silicon-Nitride during Postsintering Heat-Treatment

Vetrano, J. S.; Kleebe, H. J.; Hampp, E.; Hoffmann, M. J.; Cannon, R. M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Keramik im Maschinenbau (IKM)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0261-8028
KITopen ID: 1000007800
Erschienen in Journal of materials science / Letters
Band 11
Heft 18
Seiten 1249-1252
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