Integrated Process Development in Micro Process Engineering

Kockmann, N.; Dreher, S.; Woias, P.; Wengeler, R.; Nirschl, H.; Heim, M.; Kasper, G.; Braun, A.; Mall-Gleissle, S.; Schaber, K.

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seit 14.10.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mechanische Verfahrenstechnik und Mechanik (MVM)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2007
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 1000008496
Erschienen in	International newsletter on micro-nano integration
Heft	1
Seiten	13-15