| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000009481 |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Umfang | V, 77 S. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten | 04.02.2008 |
| Referent/Betreuer | Saile, V. |