Mechanical Properties and Fatigue of Polycrystalline Silicon under Static and High Frequency Cyclic Loading
Abstract:
10 and 20µm thick n-doped, epitaxially deposited, Bosch polysilicon layers of columnar structure were investigated. In order to characterize the fracture strength and fatigue,specimens with different sizes and geometries were designed and tested under static and high frequency cycling loading. Fractographic analysis has given an insight into fracture mechanism and helped to identify typical fracture modes and defects types.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IZBS) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-97938 KITopen-ID: 1000009793 |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IZBS) |
| Prüfungsdaten | 06.02.2008 |
| Schlagwörter | Fracture strength, Fatigue, Polysilicon, Reliability, Sensors |
| Referent/Betreuer | Gumbsch, P. |