Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Höchstfrequenztechnik und Elektronik (IHE) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2007 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000010286 |
Erschienen in | 17th Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas, May 2007, Clearwater, FL, US |