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IR-spectroscopy for in-situ investigation of microwave processes

Link, G.; Heissler, St.; Faubel, W.; Weidler, P.; Thumm, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Höchstfrequenztechnik und Elektronik (IHE)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000010396
Erschienen in 35th International Conference on Plasma Science (ICOPS 2008), June 2008, Karlsruhe, Germany.
Seiten 372
Serie IEEE Conference Record Abstracts
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