IR-spectroscopy for in-situ investigation of microwave processes
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Höchstfrequenztechnik und Elektronik (IHE) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000010396 |
| Erschienen in | 35th International Conference on Plasma Science (ICOPS 2008), June 2008, Karlsruhe, Germany. |
| Seiten | 372 |
| Serie | IEEE Conference Record Abstracts |