Validation of Micromechanical Systems

Albers, A.; Burkardt, N.; Deigendesch, T.; Ellmer, C.; Hauser, S.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Produktentwicklung (IPEK)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2007
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 1000011660
Erschienen in	Proceedings / HARMST 2007 - 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology, 7. - 9. Juni 2007, Besancon, Frankreich
Verlag	Becancon