KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Validation of Micromechanical Systems

Albers, A.; Burkardt, N.; Deigendesch, T.; Ellmer, C.; Hauser, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Produktentwicklung (IPEK)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 1000011660
Erschienen in Proceedings / HARMST 2007 - 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology, 7. - 9. Juni 2007, Besancon, Frankreich
Verlag Becancon
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page