Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsjahr | 2009 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-116746 KITopen-ID: 1000011674 |
Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Physik (PHYSIK) |
Institut | Institut für Angewandte Physik (APH) |
Prüfungsdaten | 15.05.2009 |
Schlagwörter | Halbleiter-Mikroresonator, Säulen-Resonator, Pyramiden-Resonator, nass-chemisches Ätzen, Simulation mit finiten Elementen |
Referent/Betreuer | Kalt, H. |