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An integrated Approach for Validating Micro Mechanical Systems based on Simulation and Test

Albers, A.; Deigendesch, T.; Enkler, H.-G.; Hauser, S.; Leslaby, P.; Oerding, J.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000011696
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Produktentwicklung (IPEK)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076
urn:nbn:de:swb:90-116968
KITopen-ID: 1000011696
Erschienen in Microsystem Technologies
Verlag Springer
Band 14
Heft 12
Seiten 1781 - 1787
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