Influence of Argon Gas Pressure and Target Power on Magnetron Plasma Parameters

Albers, A.; Bsul, J.; Nguyen, T.; Beauvais, S.; Burger, W.; Ulrich, S.; Stüber, M.; Ye, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Produktentwicklung (IPEK)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2008
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 1000011767
Erschienen in	Proceedings of the Diamond 2008 - 19th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides, Sep. 7-11, 2008, Sitges, Spain
Verlag	Sitges