Validation of Micromechanical Systems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktentwicklung (IPEK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076 urn:nbn:de:swb:90-117714 KITopen-ID: 1000011771 |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 14 |
| Heft | 9-11 |
| Seiten | 1481 - 1485 |