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Validation of Micromechanical Systems

Albers, A.; Burkardt, N.; Deigendesch, T.; Ellmer, C.; Hauser, S.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000011771
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Produktentwicklung (IPEK)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076
urn:nbn:de:swb:90-117714
KITopen-ID: 1000011771
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Heft 9-11
Seiten 1481 - 1485
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