| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mess- und Regelungstechnik mit Maschinenlaboratorium (MRT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000011865 |
| HGF-Programm | 41.08.01 (POF I, LK 01) Telekommunikation |
| Erschienen in | COMS - 10th International Commercialization of Micro and Nano Systems Conference, August 21 - 25, 2005 |
| Veranstaltung | 10th International Commercialization of Micro and Nano Systems Conference (2005), Baden-Baden, Deutschland, 21.08.2005 – 25.08.2005 |
| Verlag | Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA) |
| Seiten | 655 - 658 |