Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mess- und Regelungstechnik mit Maschinenlaboratorium (MRT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000011865 |
HGF-Programm | 41.08.01 (POF I, LK 01) Telekommunikation |
Erschienen in | COMS - 10th International Commercialization of Micro and Nano Systems Conference, August 21 - 25, 2005 |
Veranstaltung | 10th International Commercialization of Micro and Nano Systems Conference (2005), Baden-Baden, Deutschland, 21.08.2005 – 25.08.2005 |
Verlag | Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA) |
Seiten | 655 - 658 |