Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2007 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-0-8194-6971-7 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000012074 |
Erschienen in | Device and process technologies for microelectronics, MEMS, photonics, and nanotechnology IV. Ed.: H. H. Tan |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Seiten | 68000A/ 1 - 10 |
Serie | Proceedings / SPIE ; 6800 |