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Untersuchungen zum Nanoprägen als Fertigungsverfahren für fluidische Mikro-Nano-Systeme

Schleunitz, Arne

Abstract:
Um die Funktionalität der Mikrosystemtechnik durch die Integration von Nanometerstrukturen erweitern zu können, müssen industriekompatible Produktionstechnologien entwickelt werden. Die Intention der vorliegenden Arbeit ist es, einen möglichen Lösungsansatz durch Untersuchungen zum Nanoprägen als ein für die Nanostrukturierung von Kunststoffen adaptiertes Heissprägeverfahren weiterzuentwickeln und den Nutzen durch Applikationsbeispiele aus dem Bereich der Life-Sciences zu veranschaulichen.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000012938
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Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2009
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-129384
KITopen-ID: 1000012938
Verlag Universität Karlsruhe, Karlsruhe
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten 17.06.2009
Referent/Betreuer Prof. V. Saile
Schlagworte Mikrotechnologie, Heissprägen, Nanoimprint-Lithographie, Oberflächenmodifikation, Biologische Grenzflächen
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