Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsjahr | 2009 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-129384 KITopen-ID: 1000012938 |
Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Prüfungsdaten | 17.06.2009 |
Schlagwörter | Mikrotechnologie, Heissprägen, Nanoimprint-Lithographie, Oberflächenmodifikation, Biologische Grenzflächen |
Nachgewiesen in | OpenAlex |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung | |
Referent/Betreuer | Saile, V. |