Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Festkörperphysik (IFP) Institut für Nanotechnologie (INT) Physikalisches Institut (PHI) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsdatum | 22.03.2006 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0295-5075, 1286-4854 KITopen-ID: 1000013574 |
HGF-Programm | 43.01.01 (POF I, LK 01) Lithographie |
Erschienen in | epl |
Verlag | EDP Sciences |
Band | 74 |
Heft | 3 |
Seiten | 473-478 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |