| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Festkörperphysik (IFP) Institut für Nanotechnologie (INT) Physikalisches Institut (PHI) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsdatum | 22.03.2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0295-5075, 1286-4854 KITopen-ID: 1000013574 |
| HGF-Programm | 43.01.01 (POF I, LK 01) Lithographie |
| Erschienen in | epl |
| Verlag | EDP Sciences |
| Band | 74 |
| Heft | 3 |
| Seiten | 473-478 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex Web of Science Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |