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Fully UHV compatible fabrication of submicrometer-spaced electrical contacts

Hoffmann, R.; Gärtner, C.; Pérez-Willard, F.; Sauter, M.; Sürgers, C. ORCID iD icon; Löhneysen, H. v.


Zugehörige Institution(en) am KIT Physikalisches Institut (PHI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0034-6748
KITopen-ID: 1000013754
Erschienen in Review of Scientific Instruments
Verlag American Institute of Physics (AIP)
Band 77
Heft 2
Seiten 026101/1 - 3
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