Modular Integration of Microactuators and Micro-Optical Benches

Schüle, S.; Hollenbach, U.; Mohr, J.; Li, J.; Vorreau, P.; Efremov, A.; Leuthold, J.; Schonhardt, S.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2008
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 978-0-8194-7190-1 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000014130
HGF-Programm	43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erschienen in	Micro-optics 2008, 7 - 9 April 2008, Strasbourg, France. Ed.: H. Thienpont
Verlag	Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE)
Seiten	699202/1 - 12
Serie	Proceedings of SPIE ; 6992