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Modular Integration of Microactuators and Micro-Optical Benches

Schüle, S.; Hollenbach, U.; Mohr, J.; Li, J.; Vorreau, P.; Efremov, A.; Leuthold, J.; Schonhardt, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-0-8194-7190-1
ISSN: 0277-786X
KITopen ID: 1000014130
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Erschienen in Micro-optics 2008, 7 - 9 April 2008, Strasbourg, France. Ed.: H. Thienpont
Verlag SPIE, Bellingham (Wash.)
Seiten 699202/1 - 12
Serie Proceedings of SPIE ; 6992
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