Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 3-7723-7040-3 KITopen-ID: 1000014210 |
Erschienen in | Micro system technologies 2005 - International Conference & Exhibition on Micro-, Electro-Mechanical, Opto & Nano Systems, October 5 - 6, 2005, München. Ed.: H. Reichl |
Verlag | Franzis |