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Challenges in Design and Production of Micro-Mechatronical Systems

Bieser, C.; Fleischer, J.; Müller-Glaser, Klaus D.; Volkmann, T.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 3-7723-7040-3
KITopen-ID: 1000014210
Erschienen in Micro system technologies 2005 - International Conference & Exhibition on Micro-, Electro-Mechanical, Opto & Nano Systems, October 5 - 6, 2005, München. Ed.: H. Reichl
Verlag Franzis
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