Rechnergestützter Entwurf von Bauteilen mit stark streuenden Leitstützstrukturen am Beispiel hochbelastbarer urgeformter mikromechanischer Systeme. Computer aided design of components with channel and support structures subject to high scatter using high strength molded micromechanical systems as an example

In der vorliegenden Arbeit wird ein neuer Ansatz zum Entwurf von Mikrobauteilen, deren Kornstruktur aufgrund der geringen Bauteilabmessungen einen Einfluss auf ihr Verhalten ausübt, vorgestellt. Unter Einbeziehung des Gesamtsystems wird mittels der Finite Elemente Methode die Bauteilbelastung analysiert. Aufgrund der identifizierten und die Dimensionierung solcher Bauteile erschwerenden Streuungen der lokalen Spannungen wird ein Prozessmodell zur robustheitsbasierten Formoptimierung entwickelt.