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DOI: 10.5445/KSP/1000019375
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Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen

Kißling, Stephanie

Abstract:
Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität untersucht. Des Weiteren wurde auf die Problematik der Rauheitsmessung der in ihrer Messlänge begrenzten Mikrostrukturen eingegangen und eine Lösung mittels der spektralen Leistungsdichte erarbeitet.


Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2010
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-86644-548-2
ISSN: 1869-5183
URN: urn:nbn:de:0072-193757
KITopen ID: 1000019375
Verlag KIT Scientific Publishing, Karlsruhe
Umfang II, 109 S.
Serie Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik ; 6
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten 09.07.2010
Referent/Betreuer Prof. V. Saile
Schlagworte Mikrogalvanoformung, Chemisch-mechanisches Planarisieren (CMP), Plasmapolieren, Elektropolieren, Rauheitsmessung
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