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Ultra-thin NbN films on Si: crystalline and superconducting properties

Siegel, M. 1; Ilin, K. 1; Schneider, R. 2; Gerthsen, D. 2; Engel, A.; Bartolf, H.; Schilling, A.; Semenov, A.; Hübers, H.-W.; Freitag, B.
1 Universität Karlsruhe (TH)
2 Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/1742-6596/97/1/012045
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Zitationen: 34
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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1742-6588, 1742-6596
KITopen-ID: 1000021055
Erschienen in Journal of physics / Conference series
Verlag Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd)
Band 97
Seiten 012045/1 - 6
Nachgewiesen in Dimensions
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