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Ultra-thin NbN films on Si: crystalline and superconducting properties

Siegel, M.; Ilin, K.; Schneider, R.; Gerthsen, D.; Engel, A.; Bartolf, H.; Schilling, A.; Semenov, A.; Hübers, H.-W.; Freitag, B.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1742-6588
KITopen ID: 1000021055
Erschienen in Journal of Physics: Conference Series
Band 97
Seiten 012045/1 - 6
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