| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0168-9002, 1872-9576 KITopen-ID: 1000021131 |
| Erschienen in | Nuclear instruments & methods in physics research / A |
| Verlag | North-Holland Publishing |
| Band | 520 |
| Heft | 1-3 |
| Seiten | 32 - 35 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus OpenAlex |