| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-8194-4611-4 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000021158 |
| Erschienen in | Proceedings / Opto-Canada: SPIE Regional Meeting on Optoelectronics, Photonics, and Imaging, 9 - 10 May 2002, Ottawa, Canada |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Seiten | 36 - 38 |
| Serie | Technical digest of SPIE ; 1 |