Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 0-8194-4611-4 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000021158 |
Erschienen in | Proceedings / Opto-Canada: SPIE Regional Meeting on Optoelectronics, Photonics, and Imaging, 9 - 10 May 2002, Ottawa, Canada |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Seiten | 36 - 38 |
Serie | Technical digest of SPIE ; 1 |