| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0021-8979, 0148-6349, 1089-7550, 1520-8850, 2163-5102 KITopen-ID: 1000021163 |
| Erschienen in | Journal of applied physics |
| Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
| Band | 92 |
| Heft | 6 |
| Seiten | 3239 - 3250 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science OpenAlex Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |