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Electron beam lithography of V-shaped silver nanoantennas

Klein, M. F. G. 1,2,3; Hein, H. 3; Jakobs, P.-J. 3; Linden, S. 4; Meinzer, N. 2; Wegener, M. 2; Saile, V. 3; Kohl, M. 3
1 Lichttechnisches Institut (LTI), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Angewandte Physik (APH), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
4 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.mee.2008.12.023
Scopus
Zitationen: 11
Web of Science
Zitationen: 9
Dimensions
Zitationen: 8
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Nanotechnologie (INT)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Lichttechnisches Institut (LTI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0167-9317
KITopen-ID: 1000021310
HGF-Programm 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erschienen in Microelectronic Engineering
Verlag Elsevier
Band 86
Heft 4-6
Seiten 1078 - 1080
Nachgewiesen in Web of Science
Scopus
Dimensions
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