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Electron beam lithography of V-shaped silver nanoantennas

Klein, M. F. G.; Hein, H.; Jakobs, P.-J.; Linden, S.; Meinzer, N.; Wegener, M.; Saile, V.; Kohl, M.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.mee.2008.12.023
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Zitationen: 10
Web of Science
Zitationen: 8
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Lichttechnisches Institut (LTI)
Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0167-9317
KITopen-ID: 1000021310
HGF-Programm 43.01.06 (POF II, LK 01)
Erschienen in Microelectronic Engineering
Band 86
Heft 4-6
Seiten 1078 - 1080
Nachgewiesen in Web of Science
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