Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) Lichttechnisches Institut (LTI) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2009 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0167-9317 KITopen-ID: 1000021310 |
HGF-Programm | 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
Erschienen in | Microelectronic Engineering |
Verlag | Elsevier |
Band | 86 |
Heft | 4-6 |
Seiten | 1078 - 1080 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |