| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) Lichttechnisches Institut (LTI) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0167-9317, 1873-5568 KITopen-ID: 1000021321 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF II, LK 01) Photonische Systeme |
| Erschienen in | Microelectronic engineering |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 86 |
| Heft | 4-6 |
| Seiten | 1499 - 1501 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus OpenAlex Dimensions |