Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Lichttechnisches Institut (LTI) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Jahr | 2009 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0167-9317, 1873-5568 KITopen-ID: 1000021321 |
HGF-Programm | 43.04.04 (POF II, LK 01) |
Erschienen in | Microelectronic engineering |
Band | 86 |
Heft | 4-6 |
Seiten | 1499 - 1501 |
Nachgewiesen in | Web of Science Scopus |