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Hot Embossing of Micro- and Nanostructures for the Integration of Organic Semiconductor Lasers and Deep UV Induced Waveguides towards a Lab-on-chip System

Lemmer, U.; Vannahme, C.; Klinkhammer, S.; Kolew, A.; Woggon, T.; Mappes, T.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Lichttechnisches Institut (LTI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0167-9317
KITopen-ID: 1000021340
Erschienen in Proceedings of the 35th International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE), September 28 - 1 October, 2009, Ghent, Belgium. Ed.: K. Ronse
Verlag Elsevier, Amsterdam
Serie Microelectronic engineering ; 87.2010,5/8
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