Hot Embossing of Micro- and Nanostructures for the Integration of Organic Semiconductor Lasers and Deep UV Induced Waveguides towards a Lab-on-chip System
Lemmer, U.
; Vannahme, C.; Klinkhammer, S.; Kolew, A.; Woggon, T.; Mappes, T.; Mohr, J.
; Vannahme, C.; Klinkhammer, S.; Kolew, A.; Woggon, T.; Mappes, T.; Mohr, J.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Lichttechnisches Institut (LTI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0167-9317 KITopen-ID: 1000021340 |
| Erschienen in | Proceedings of the 35th International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE), September 28 - 1 October, 2009, Ghent, Belgium. Ed.: K. Ronse |
| Verlag | Elsevier |
| Serie | Microelectronic engineering ; 87.2010,5/8 |