Zugehörige Institution(en) am KIT | Lichttechnisches Institut (LTI) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2009 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0167-9317 KITopen-ID: 1000021340 |
Erschienen in | Proceedings of the 35th International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE), September 28 - 1 October, 2009, Ghent, Belgium. Ed.: K. Ronse |
Verlag | Elsevier |
Serie | Microelectronic engineering ; 87.2010,5/8 |