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Numerical simulation tool for synthetic speckle pattern images and their intensity-based integration under variable conditions for metrology applications

Lemmer, U.; Riechert, F.; Bastian, G.


Zugehörige Institution(en) am KIT Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Lichttechnisches Institut (LTI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-0-8194-6759-1
ISSN: 0277-786X
KITopen-ID: 1000021404
Erschienen in Proceedings / Modeling aspects in optical metrology, 18 - 19 June 2007, Munich, Germany. Ed.: H. Bosse
Verlag Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE)
Serie Proceedings / SPIE ; 6617
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