Photonic Integrated Circuits fabricated by Deep UV and Hot Embossing

Punke, M.; Bruendel, M.; Ichihashi, Y.; Mohr, J.; Worgull, M.; Saile, V.; Rabus, D. G.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Lichttechnisches Institut (LTI)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2007
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 1-424-40926-8 KITopen-ID: 1000021416
Erschienen in	Proceedings of the 2007 digest of the LEOS summer topical meetings, Portland, OR, 23 - 25 July 2007
Verlag	Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Seiten	105 - 106