Hochreine Oberflächen für die Elektrotechnik: Plasma und UV-Strahlung mit neuen Anwendungsmöglichkeiten
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Lichttechnisches Institut (LTI) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISSN: 0026-0797 KITopen-ID: 1000021540 |
| Erschienen in | Metalloberfläche |
| Verlag | Carl Hanser Verlag |
| Band | 54 |
| Seiten | 15 - 18 |