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Hybrid machining of microstructures using a combination of electrical discharge machining milling and laser ablation

Schulze, V.; Haupt, S.; Weber, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Produktionstechnik (WBK)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1071-1023
KITopen-ID: 1000021978
Erschienen in Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
Band 27
Heft 3
Seiten 1327 - 1329
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