Hybrid machining of microstructures using a combination of electrical discharge machining milling and laser ablation
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1071-1023 KITopen-ID: 1000021978 |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures |
| Verlag | American Vacuum Society |
| Band | 27 |
| Heft | 3 |
| Seiten | 1327 - 1329 |